晶圆检测

第三方科研检测机构

综合性检验测试研究所

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检测项目(部分)

  • 尺寸测量
  • 表面粗糙度测量
  • 导电性测试
  • 杂质分析
  • 钝化层测试
  • 电容测试
  • 漏电测试
  • 电阻测试
  • 晶格缺陷测试
  • 显微结构分析
  • 半导体弯曲量测量
  • 薄膜光学特性测量
  • 金属导线压力测试
  • 光学表面特性测试
  • 反射率测试
  • 折射率测试
  • 光束质量测试
  • 色散测试
  • 自发辐射分析
  • 光漏损测试

检测样品(部分)

  • 硅晶圆
  • 氮化硅晶圆
  • 氧化镓晶圆
  • 蓝宝石晶圆
  • 氮化镓晶圆
  • 硫化铜晶圆
  • 氧化铝晶圆
  • 氧化硅晶圆
  • 石英晶圆
  • 碳化硅晶圆
  • 砷化镓晶圆
  • 铝氮化镓晶圆
  • 碳化镓晶圆
  • 磷化铝晶圆
  • 砷化铝晶圆
  • 氮化铝晶圆
  • 氧化锌晶圆
  • 氮化碳晶圆
  • 磷酸盐晶圆
  • 二氧化硅晶圆

检测标准(部分)

GB/T 41853-2022 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量

SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

GB/T 26044-2010 信号传输用单晶圆铜线及其线坯

GB/T 33657-2017 纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范

GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

暂无更多标准,请联系在线工程师。

结语

以上是关于晶圆检测的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师

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