YS/T 1600-2023 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

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YS/T 1600-2023标准基本信息

标准名称:碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

标准号:YS/T 1600-2023

发布日期:2023-04-21

实施日期:2023-11-01

制修订:制定

中国标准分类号:H17

国际标准分类号:77.040.30

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:方法标准

适用范围:本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。

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结语

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