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电子工业用气体氩的检测与分析
概括
在现代电子工业中，氩气作为一种重要的工业气体，广泛应用于半导体制造、激光技术、焊接以及气体放电等多个领域。氩气由于其惰性特性，能够有效避免化学反应，因此在各种高精度的生产过程中必不可少。随着科技的进步和工业需求的增加，氩气的纯度要求也越来越高，这就需要对其进行严格的检测和分析。
检测样品
检测氩气的样品通常是通过气体采样器从生产或储存系统中获取的。样品的采集需要在合适的环境条件下进行，以确保其代表性和准确性。常见的氩气检测样品包括但不限于：
- 管道氩气样品：直接从气体输送管道中提取，反映了气体在运输过程中的品质。
- 储罐氩气样品：从储存氩气的高压气瓶或储罐中采集，通常用于长期监测。
- 现场氩气样品：在气体使用现场进行采样，常用于检测现场环境的稳定性和气体质量。
检测项目
氩气的检测主要包括以下几个方面：
- 气体纯度：氩气的纯度是检测的核心，通常要求达到99.9%以上。
- 杂质成分：氩气中可能含有其他气体杂质，如氮气、氧气、二氧化碳等，影响气体的品质和应用。
- 水分含量：水分是影响气体性能的关键因素，过多的水分会影响氩气的稳定性。
- 残留气体：检测氩气中是否含有其他气体残留，以确保其纯净。
检测仪器
进行氩气检测的仪器设备种类繁多，选择合适的检测工具对于准确结果至关重要。常用的检测仪器有：
- 气相色谱仪（GC）：通过气相色谱法分离氩气中的杂质成分，广泛应用于高精度的氩气检测中。
- 质谱仪（MS）：利用质谱分析技术，能够高效地检测氩气中的微量杂质，特别适用于痕量元素分析。
- 红外吸收仪：通过测量氩气吸收的红外光谱来分析其成分，适用于定量分析气体的纯度和水分含量。
- 在线气体分析仪：这种设备能够实时监测气体的质量变化，广泛应用于生产线和气体储存系统中。
检测方法
氩气的检测方法根据不同的检测项目和仪器设备有所不同。常见的检测方法有：
- 气相色谱法（GC）：将氩气样品注入气相色谱仪，通过分离柱分离不同气体成分，再通过检测器分析各个组分的浓度。
- 质谱法（MS）：通过将氩气离子化并根据质荷比进行分析，从而确定气体的纯度及杂质成分。
- 红外吸收法：利用氩气对特定波长红外光的吸收特性，结合浓度与吸光度的关系，测量气体的水分含量和杂质。
- 在线监测法：通过在线气体分析仪，实时监测氩气的纯度变化，确保生产过程中气体质量稳定。
检测标准（部分）
《 GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氩
- 标准号：GB/T 16945-2009
- 中国标准分类号：G86
- 发布日期：2009-10-30
- 国际标准分类号：71.100.20
- 实施日期：2010-05-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准：代替GB/T 16945-1997
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 氩》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 u3000u3000氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
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结语
氩气在电子工业中的重要性不言而喻，特别是在高精度的制造和技术应用中，它的纯度和质量直接影响到生产过程的效果。因此，定期、准确地检测氩气的质量，对于保障生产质量、提高产品性能具有至关重要的意义。随着检测技术的不断进步，未来的氩气检测将更加精准、便捷，为各行各业提供更加可靠的气体保障。
结语
以上是关于电子工业用气体氩的检测与分析的介绍，如有其它问题请 联系在线工程师 。
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