GB/T 18907-2013微束电子显微术透射电镜选区电子衍射方法检测解析

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GB/T 18907-2013微束电子显微术透射电镜选区电子衍射方法检测解析

概述

GB/T 18907-2013是针对微束电子显微术透射电镜选区电子衍射方法的标准规定。该方法主要应用于通过透射电镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)对微束样品进行选区电子衍射的检测。它广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体研究等领域,能够精准分析样品的晶体结构、缺陷及其微观性质。通过这一标准的应用,研究人员能够更为精确地获取关于样品的结晶性质、相位转变以及晶体定向等关键信息。

检测样品

检测样品的选择对测试结果具有至关重要的影响。在透射电镜选区电子衍射方法中,样品通常需要是薄膜或颗粒状材料,厚度通常要求在几十纳米至几百纳米之间。样品的准备是确保电子衍射结果准确性的关键步骤。样品需要经高精度的切割、研磨、抛光等处理,确保其表面光滑无缺陷,以便获取清晰的衍射图样。在实际应用中,常见的检测样品包括金属、合金、陶瓷、半导体材料等。

检测项目

在GB/T 18907-2013标准下,透射电镜选区电子衍射检测的主要项目包括:

  • 晶体结构分析:通过电子衍射图样分析样品的晶体类型、晶面间距等信息。
  • 晶体缺陷检测:检测样品中的晶体缺陷,如位错、空位等。
  • 晶格畸变分析:观察和分析晶格畸变的区域。
  • 晶体定向和相位转变:通过衍射图样确定样品的晶体定向和可能发生的相变。

这些检测项目帮助科学家更深入地了解材料的微观结构和性能,进而为材料设计和优化提供重要依据。

检测仪器

透射电镜是进行微束电子显微术选区电子衍射的核心仪器。它通常由高压电子源、物镜、衍射透镜、样品台、成像系统等部分组成。为了确保测试结果的精准性,所使用的透射电镜必须具备高分辨率和高信噪比能力。此外,常配备有先进的样品制备设备,如离子束抛光机、聚焦离子束系统(FIB),以保证样品达到适合透射电镜分析的状态。

检测方法

根据GB/T 18907-2013标准,透射电镜选区电子衍射的方法包括以下步骤:

  1. 样品准备:将样品制备成适合透射电镜观察的薄膜,厚度通常在50-300nm之间,确保样品表面平整。
  2. 衍射区域选择:在电镜中,通过物镜选择合适的样品区域,并聚焦以获取清晰的电子衍射图样。
  3. 电子束扫描:电子束以不同角度照射样品,收集电子衍射图样并进行分析。
  4. 数据分析:通过分析电子衍射图样,获取样品的晶体结构、缺陷、晶格畸变等信息。

该方法具有高度的精确性,可以揭示样品的微观结构和晶体特性,是现代材料研究中不可或缺的重要工具。

检测标准(部分)

《 GB/T 18907-2013 微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法 》标准简介

  • 标准名称:微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法
  • 标准号:GB/T 18907-2013
    中国标准分类号:G04
  • 发布日期:2013-07-19
    国际标准分类号:71.040.50
  • 实施日期:2014-03-01
    技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 18907-2002
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术分析化学物理化学分析方法
  • 内容简介:

    国家标准《微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。

    本标准规定了用透射电子显微镜(TEM)对薄晶体试样的微米和亚微米尺寸区域进行选区电子衍射分析的方法。被测试样可以从各种金属或非金属材料的薄切片获得,也可以采用细微的粉末或萃取复型试样。应用本方法可分析的最小试样选区直径取决于显微镜物镜的球差系数,对于现代TEM,试样的最小选区直径一般可达到0.5 μm。当被分析试样区的直径小于0.5 μm时仍然可以参照本标准的分析方法,但是由于球差的影响,衍射谱上的部分信息有可能来源于由选区光阑限定的区域之外,在这种情况下,如条件允许,最好采用微(纳)衍射或者会聚束电子衍射方法。选区电子衍射方法的成功应用取决于对所获得的衍射谱指数标定正确与否,而不论试样的哪个晶带轴平行于入射电子束,因而,这样的分析往往需要借助试样的倾转和旋转装置。本标准适用于从晶体试样上获取SAED谱、标定衍射谱的指数以及校准电镜的衍射常数。

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结语

GB/T 18907-2013微束电子显微术透射电镜选区电子衍射方法为科学家和工程师提供了高精度的工具,以深入研究材料的微观结构。这一方法不仅在基础科学研究中发挥着重要作用,也在材料开发、半导体制造等领域具有广泛的应用前景。随着技术的不断进步,未来透射电镜选区电子衍射方法将进一步发展,推动材料科学和纳米技术的快速进步。

结语

以上是关于GB/T 18907-2013微束电子显微术透射电镜选区电子衍射方法检测解析的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师

 
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