激光干涉仪检测

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综合性检验测试研究所

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检测信息(部分)

Q:什么是激光干涉仪检测? A:激光干涉仪检测是一种利用激光干涉原理对物体尺寸、形状、表面粗糙度等参数进行高精度测量的技术。 Q:激光干涉仪检测的主要用途是什么? A:主要用于精密制造、光学元件检测、机械加工质量控制、半导体行业以及科研领域的精密测量。 Q:激光干涉仪检测的概要是什么? A:通过激光干涉仪发射的激光束与被测物体反射的光束干涉,形成干涉条纹,通过分析条纹变化获取被测物体的各项参数。

检测项目(部分)

  • 平面度:测量物体表面的平整程度
  • 直线度:检测物体边缘或轴线的直线性
  • 角度:测量两个平面或轴线之间的夹角
  • 平行度:评估两个平面或轴线之间的平行程度
  • 垂直度:检测两个平面或轴线之间的垂直关系
  • 圆度:测量圆形物体的真圆程度
  • 圆柱度:评估圆柱体表面的几何精度
  • 同轴度:检测多个圆柱面的轴线重合度
  • 位置度:测量特征相对于基准的位置偏差
  • 轮廓度:评估物体表面轮廓与理论轮廓的符合度
  • 跳动:检测旋转体表面的径向或轴向跳动
  • 表面粗糙度:测量物体表面的微观不平整度
  • 波长:检测激光光源的波长精度
  • 光强:测量激光束的能量强度
  • 光束质量:评估激光束的空间分布特性
  • 偏振特性:检测激光的偏振状态
  • 相干长度:测量激光的相干特性
  • 光学元件透过率:检测光学元件的透光性能
  • 光学元件反射率:测量光学元件的反射性能
  • 光学系统波前像差:评估光学系统的成像质量

检测范围(部分)

  • 平面光学元件
  • 球面光学元件
  • 非球面光学元件
  • 棱镜
  • 反射镜
  • 透镜
  • 光学窗口
  • 光学滤光片
  • 衍射光学元件
  • 微透镜阵列
  • 机械零件
  • 精密导轨
  • 轴承
  • 齿轮
  • 模具
  • 半导体晶圆
  • MEMS器件
  • 光学薄膜
  • 激光谐振腔
  • 光学系统装配体

检测仪器(部分)

  • 激光平面干涉仪
  • 激光球面干涉仪
  • 激光非球面干涉仪
  • 激光波长计
  • 激光功率计
  • 光束质量分析仪
  • 偏振分析仪
  • 光学传递函数测量仪
  • 表面轮廓仪
  • 三维形貌测量仪

检测方法(部分)

  • 菲索干涉法:用于平面和球面光学元件的面形检测
  • 泰曼-格林干涉法:适用于光学系统的波前检测
  • 马赫-曾德尔干涉法:用于测量光学元件的折射率分布
  • 剪切干涉法:适用于大像差光学系统的检测
  • 白光干涉法:用于测量表面微观形貌
  • 相位测量干涉法:实现高精度的面形测量
  • 动态干涉法:用于振动环境下的测量
  • 多波长干涉法:解决相位模糊问题
  • 偏振干涉法:用于双折射材料的检测
  • 共光路干涉法:提高抗干扰能力
  • 外差干涉法:实现高精度位移测量
  • 散斑干涉法:用于粗糙表面的测量
  • 数字全息干涉法:实现三维形貌重建
  • 点衍射干涉法:用于高精度光学检测
  • 径向剪切干涉法:适用于非球面检测
  • 横向剪切干涉法:用于波前斜率测量
  • 同步移相干涉法:提高测量速度
  • 空间载波干涉法:实现单次曝光测量
  • 傅里叶变换干涉法:用于光谱分析
  • 低相干干涉法:用于层析成像

结语

以上是关于激光干涉仪检测的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师

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