信息概要
晶圆载具是半导体制造过程中用于存储、运输晶圆的关键部件,其释气性直接影响洁净室环境及晶圆表面污染程度。释气性测试通过量化载具材料在真空或高温条件下释放的挥发性有机化合物(VOC)及微粒,确保其符合半导体制造的高洁净度要求。此类检测对预防晶圆表面吸附分子污染(AMCs)至关重要,可避免因污染物沉积导致的器件性能下降或良率损失。
检测项目
- 总质量损失(TML):材料在真空环境中释放的总挥发物质量占比
- 收集挥发性冷凝物(CVCM):凝结在低温表面的非挥发性残留物含量
- 水蒸气脱附量:材料吸附水分的释放特性
- 有机酸释放量:甲酸、乙酸等腐蚀性气体的浓度检测
- 硅氧烷类化合物浓度:硅基材料分解产物的定量分析
- 重金属析出量:铅、铜等金属离子的迁移检测
- 苯系物释放:苯、甲苯等有害芳香烃的释放水平
- 氨气扩散速率:碱性气体在特定温度下的逸出速度
- 颗粒物生成量:材料摩擦或热分解产生的微粒数量
- 热稳定性:高温条件下的材料分解阈值测定
- 气体渗透系数:特定气体透过材料的扩散速率
- 表面粗糙度变化:释气过程对材料表面形貌的影响
- pH值偏移:释放物对溶液酸碱度的改变程度
- 静电积聚量:材料表面电荷积累特性
- 氧化诱导时间:抗氧化性能的加速老化评估
- 卤素含量:氯、氟等卤素元素的释放检测
- 碳氢化合物总量:C6-C16链烃的综合释放量
- 紫外荧光特性:特定污染物在紫外激发下的荧光响应
- 离子色谱分析:可溶性离子的种类与浓度
- 生物相容性:释放物对生物活性物质的影响评估
检测范围
- 聚碳酸酯(PC)载具
- 聚醚醚酮(PEEK)载具
- 氟聚合物涂层载具
- 不锈钢金属载具
- 碳纤维复合材料载具
- 石英玻璃载具
- 陶瓷基载具
- 防静电塑料载具
- 晶圆传输机器人夹爪
- 封闭式晶舟(FOUP)
- 开放式晶舟(OUPP)
- 真空密封载具
- 高温烘烤专用载具
- 光刻工艺专用载具
- 化学机械抛光(CMP)载具
- 晶圆清洗篮
- 临时存储盒
- 自动化传输模块
- 抗辐射特种载具
- 纳米压印模板夹具
检测方法
- 气相色谱-质谱联用(GC-MS):挥发性有机物成分鉴定与定量
- 热脱附分析(TD-GC/MS):模拟高温环境下的释气行为
- 傅里叶变换红外光谱(FTIR):化学键振动模式分析
- 离子迁移谱(IMS):痕量气体的快速检测
- 动态顶空采样法(DHS):封闭体系气体逸出动态监测
- 静态顶空分析法(SHS):平衡状态下气相成分分析
- 热重-质谱联用(TGA-MS):材料热分解产物追踪
- 激光诱导击穿光谱(LIBS):元素成分快速筛查
- 原子吸收光谱(AAS):重金属元素精确测定
- X射线光电子能谱(XPS):表面化学状态表征
- 扫描电子显微镜-能谱(SEM-EDS):微观形貌与元素分布
- 激光粒度分析:释放微粒的粒径分布测量
- 石英晶体微天平(QCM):膜层吸附质量变化监测
- 质子转移反应质谱(PTR-MS):实时在线VOC检测
- 加速老化试验(HAST):湿热环境下的加速释气评估
检测仪器
- 热脱附气相色谱质谱联用仪
- 傅里叶变换红外光谱仪
- 离子迁移谱仪
- 四极杆飞行时间质谱仪
- 激光粒度分析仪
- 热重分析仪
- 扫描电子显微镜
- X射线光电子能谱仪
- 紫外可见分光光度计
- 原子吸收光谱仪
- 质子转移反应质谱仪
- 石英晶体微天平
- 动态顶空采样系统
- 高加速应力试验箱
- 洁净室在线粒子计数器
结语
以上是关于晶圆载具释气性测试的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师 。
检测资质(部分)
检测实验室(部分)
检测优势
1、能为客户快速拟定试验检测计划并且按要求完成试验项目
2、庞大的数据库知识储备,除了已知物质,对于未知物质的检测分析有着更丰厚的经历
3、检测周期短,检测费用低,拥有多种试验检测方案
4、工程师依据客户需求制定相应的检测计划
5、可使用36种语言编写MSDS报告服务
6、多家实验室分支,支持上门取样或寄样检测服务
检测流程
1、客户进行寄样或者工程师上门取样
2、样品免费初检
3、工程师通过初检对提供的样品进行报价
4、双方确认需求,签订保密协议,开始试验
5、一般7-15个工作日完结试验
6、将检测报告以邮寄、传真、电子邮件等方法发送给客户
检测报告用处
1、用于销售,出具检测报告书,让客户更加信赖产品,提高产品的知名度。
2、用于产品改善,依据检测陈述改善自己的产品质量,提升产品质量,降低生产成本。
3、用于产品研制,中析研究所协助您完成科研试验,缩短研制周期,降低研制成本。
4、科研论文,文献数据运用。(您能够指定给我们研究所相应的检测标准以及具体的试验方法)
合作客户(部分)
北京中科光析科学技术研究所(简称“中析研究所”,原称“中化所”),是以科研检测为主的化工技术研究机构。中析研究所坚持基础研究与应用研究并重、应用研究和技术转化相结合,发展为以“任务带学科”为主要特色的综合性研究所。
经国家有关部门批准,目前成为第三方分析测试技术服务单位,旗下实验室拥有CMA检测资质。开展了研发设计、分析检测、试验验证、共性加工、信息及知识产权等服务,为科技型企业创新提供公共服务。本所得到政府创新基金的支持,被评为国家高新技术企业。
中析研究所先后成立了化学实验室、微生物实验室、力学实验室、材料实验室、医学实验室、高分子实验室、声学实验室等。为我国航空航天、军工科研、高端制造等部门提供了个性化的定制方案及服务。
Beijing Zhongke optical analysis Chemical Technology Research Institute (hereinafter
referred to as Sinochem Institute) is a collective owned unit, which is a chemical
technology research institute focusing on scientific research and testing. Sinochem
adheres to the combination of basic research and application research, and the
combination of application research and technology transformation, and develops into a
comprehensive research institute with the main characteristics of "task with
discipline". With the approval of relevant national departments, it has now become a
third-party analysis and test technical service unit and obtained CMA qualification
certification. Services such as R & D design, analysis and detection, test and
verification, common processing, information and intellectual property rights were
carried out to provide public services for innovation of science and technology-based
enterprises. With the support of the government innovation fund, the exchange was rated
as a national high-tech enterprise.
Sinochem has established chemical laboratory, Microbial Laboratory, mechanical
laboratory, material laboratory, medical laboratory, polymer laboratory, acoustic
laboratory, etc. It provides personalized customized solutions and services for China's
aerospace, military scientific research, judicial units, high-end manufacturing and
other departments.