电子气体材料检测

第三方科研检测机构

综合性检验测试研究所

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信息概要

电子气体是集成电路、光电子、半导体等高科技产业的基础支撑材料,其纯度和洁净度直接影响电子元器件的精度、成品率及可靠性。第三方检测机构通过正规检测服务确保气体质量符合国家标准(如GB/T系列)及国际规范,助力半导体、新能源电池等产业的技术迭代与安全生产。检测服务涵盖气体成分分析、杂质鉴定、纯度测定等,需依托CMA/CNAS资质实验室及先进设备完成。

检测项目

  • 氧化亚氮含量
  • 氨纯度
  • 氯化氢浓度
  • 三氟化硼检测
  • 磷化氢残留
  • 硅烷杂质分析
  • 甲烷含量
  • 丙烯纯度
  • 氢纯度
  • 氧纯度/含量
  • 氦杂质测定
  • 氮总杂质
  • 氩稀有气体含量
  • 三氯化硼成分
  • 三氟甲烷纯度
  • 六氟化硫痕量分析
  • 六氟化钨杂质检测
  • 六氟乙烷成分鉴定
  • 高纯氯纯度
  • 氪含量分析
  • 水含量测定
  • 一氧化碳及二氧化碳含量
  • 总硫含量
  • 微量氧分析
  • 总烃含量

检测范围

  • 氧化亚氮
  • 氯化氢
  • 三氟化硼
  • 磷化氢
  • 硅烷
  • 甲烷
  • 丙烯
  • 三氯化硼
  • 三氟甲烷
  • 六氟化硫
  • 六氟化钨
  • 六氟乙烷
  • 高纯氯
  • 四氟化硅
  • 砷化氢
  • 硒化氢
  • 笑气(氧化亚氮)
  • 锗烷
  • 八氟丙烷

检测方法

  • 气相色谱法(TCD/FID检测器分离定量气体成分)
  • 气相色谱-质谱联用法(GC-MS用于痕量杂质分析)
  • 电化学传感器法(高灵敏度检测可燃气体浓度)
  • 傅立叶变换红外光谱法(FTIR长光程测定气体分子结构)
  • 激光粒度计数法(分析气体颗粒物分布)
  • 冷镜式水分测定法(精确检测气体中水含量)
  • 总硫分析仪法(测定硫化物总量)
  • 微量氧分析仪法(检测ppb级氧残留)
  • 露点仪测定法(评估气体干燥度)
  • 半导体传感器法(快速响应现场监测)
  • 光化学检测法(高精度实验室级分析)
  • 高压液相色谱法(HPLC用于复杂混合物分离)
  • 热导检测法(TCD测定气体热导率差异)
  • 电子捕获检测法(ECD检测卤代烃等电负性物质)
  • 火焰光度检测法(FPD分析硫、磷化合物)

检测仪器

  • 气相色谱仪(Agilent 6890)
  • 气相色谱-质谱联用仪(Agilent 5975)
  • 傅立叶变换红外光谱仪(PE Spotlight 300)
  • 总硫分析仪(Analytic jena multi EA 3100)
  • 微量氧分析仪(Delta F platinum series)
  • 露点仪(Teledyne 8800P)
  • 激光粒度计数器(Lighthouse 3016)
  • 红外油分分析仪(Horiba ocma-350)
  • 冷镜式水分测定仪(GE1311XR)
  • 氩分析仪(Konrol Analytic K2001ns)
  • 氮氧化物分析仪(Teledyne model 9110EH)
  • 气体标准物质稀释装置
  • 高压取样瓶(液化气体采样)
  • 气体透过率测定仪
  • 全自动凯式定氮仪

结语

以上是关于电子气体材料检测的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师

 
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