检测信息(部分)
溅射靶材是什么材料?
溅射靶材是通过离子轰击释放原子进行薄膜沉积的高纯度材料,主要包括金属、合金、陶瓷等,广泛应用于半导体、显示面板等领域。
检测涵盖哪些应用领域?
覆盖半导体制造、光伏电池、光学镀膜、磁性存储、装饰涂层等工业场景的质量控制需求。
常规检测包含哪些内容?
主要包含成分分析、微观结构观察、物理性能测试及表面缺陷检测四大核心模块。
检测项目(部分)
- 纯度分析 - 测量靶材主体元素及杂质含量百分比
- 密度测试 - 评估材料致密程度与孔隙率指标
- 晶粒尺寸 - 测定微观晶体结构的平均尺寸大小
- 氧含量 - 检测材料内部氧化物的存在比例
- 硬度测试 - 衡量材料抵抗外力压入的能力
- 热膨胀系数 - 表征温度变化时的尺寸稳定性
- 电阻率 - 测量电流通过时的阻碍特性
- 磁导率 - 评估磁性靶材的导磁能力参数
- 结合强度 - 测试靶材与背板的粘接力数值
- 表面粗糙度 - 量化靶材表面凹凸不平程度
- 孔隙率检测 - 确定材料内部微孔所占体积比
- 元素分布 - 分析材料截面成分均匀性状态
- 晶向测定 - 识别单晶靶材的晶体取向角度
- 断裂韧性 - 评估材料抵抗裂纹扩展的能力
- 溅射速率 - 测量单位时间内的薄膜沉积效率
- 气孔检测 - 定位表面及亚表面微小气孔缺陷
- 微观形貌 - 观察材料表面显微结构特征
- 热导率 - 测定材料传导热量的性能参数
- 残余应力 - 分析加工后材料内部应力分布
- 腐蚀速率 - 测试特定环境下的化学稳定性
检测范围(部分)
- 金属靶材(铝、铜、钛等)
- 合金靶材(镍铬、钴铁硼等)
- 氧化物靶材(ITO、氧化锌等)
- 氮化物靶材(氮化钛、氮化铝等)
- 硅基靶材(多晶硅、硅铝合金等)
- 贵金属靶材(金、银、铂等)
- 磁性靶材(钴铂、铁钴等)
- 碳化物靶材(碳化钨、碳化硅等)
- 硫化物靶材(硫化锌、硫化镉等)
- 氟化物靶材(氟化镁、氟化钙等)
- 硒化物靶材(硒化锌、硒化铅等)
- 碲化物靶材(碲化镉、碲化铋等)
- 复合靶材(金属/陶瓷混合型)
- 旋转靶材(圆柱形溅射源)
- 平面靶材(矩形板状结构)
- 管状靶材(中空圆柱体结构)
- 高熔点金属靶(钨、钼、钽等)
- 透明导电靶(氧化铟锡基类)
- 稀土元素靶(镧系金属及化合物)
- 多元合金靶(三元以上合金体系)
检测仪器(部分)
- 电感耦合等离子体质谱仪
- X射线衍射分析仪
- 扫描电子显微镜
- 透射电子显微镜
- 原子力显微镜
- 辉光放电质谱仪
- 激光粒度分析仪
- 万能材料试验机
- 显微硬度计
- 四探针电阻测试仪
- 热膨胀仪
- 超声波探伤仪
- X射线荧光光谱仪
- 台阶轮廓仪
- 热导率测定仪
检测方法(部分)
- GDMS辉光放电质谱 - 实现ppb级杂质元素定量分析
- XRD物相分析 - 鉴别材料晶体结构及相组成
- SEM表面扫描 - 观测微观形貌及缺陷分布状态
- EDS元素测绘 - 可视化展示材料成分分布图
- 压汞法孔隙测试 - 测量亚微米级孔隙结构参数
- 阿基米德密度法 - 通过排水原理计算体密度
- 四点弯曲试验 - 测定靶材与背板的结合强度
- 激光闪射法 - 非接触式热扩散系数测量技术
- 金相制样观察 - 分析晶粒尺寸及组织结构
- 霍尔效应测试 - 表征半导体靶材载流子浓度
- 超声C扫描 - 检测内部裂纹及分层缺陷
- XRF光谱分析 - 快速定量主量元素成分
- 维氏硬度压痕 - 评估材料局部抗塑性变形能力
- 白光干涉仪 - 纳米级表面粗糙度三维重建
- 热重分析法 - 测定材料高温稳定性及氧化行为
- 涡流导电测试 - 无损检测导电靶材电导率
- 离子研磨制备 - 制备无损伤TEM观测样品
- 台阶仪扫描 - 测量表面轮廓及平整度参数
- 振动样品磁强计 - 定量磁性靶材磁性能参数
- 阴极发光检测 - 分析半导体材料发光特性
结语
以上是关于溅射靶材检测的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师 。
检测资质(部分)
检测实验室(部分)
检测优势
1、能为客户快速拟定试验检测计划并且按要求完成试验项目
2、庞大的数据库知识储备,除了已知物质,对于未知物质的检测分析有着更丰厚的经历
3、检测周期短,检测费用低,拥有多种试验检测方案
4、工程师依据客户需求制定相应的检测计划
5、可使用36种语言编写MSDS报告服务
6、多家实验室分支,支持上门取样或寄样检测服务
检测流程
1、客户进行寄样或者工程师上门取样
2、样品免费初检
3、工程师通过初检对提供的样品进行报价
4、双方确认需求,签订保密协议,开始试验
5、一般7-15个工作日完结试验
6、将检测报告以邮寄、传真、电子邮件等方法发送给客户
检测报告用处
1、用于销售,出具检测报告书,让客户更加信赖产品,提高产品的知名度。
2、用于产品改善,依据检测陈述改善自己的产品质量,提升产品质量,降低生产成本。
3、用于产品研制,中析研究所协助您完成科研试验,缩短研制周期,降低研制成本。
4、科研论文,文献数据运用。(您能够指定给我们研究所相应的检测标准以及具体的试验方法)
合作客户(部分)
北京中科光析科学技术研究所(简称“中析研究所”,原称“中化所”),是以科研检测为主的化工技术研究机构。中析研究所坚持基础研究与应用研究并重、应用研究和技术转化相结合,发展为以“任务带学科”为主要特色的综合性研究所。
经国家有关部门批准,目前成为第三方分析测试技术服务单位,旗下实验室拥有CMA检测资质。开展了研发设计、分析检测、试验验证、共性加工、信息及知识产权等服务,为科技型企业创新提供公共服务。本所得到政府创新基金的支持,被评为国家高新技术企业。
中析研究所先后成立了化学实验室、微生物实验室、力学实验室、材料实验室、医学实验室、高分子实验室、声学实验室等。为我国航空航天、军工科研、高端制造等部门提供了个性化的定制方案及服务。
Beijing Zhongke optical analysis Chemical Technology Research Institute (hereinafter
referred to as Sinochem Institute) is a collective owned unit, which is a chemical
technology research institute focusing on scientific research and testing. Sinochem
adheres to the combination of basic research and application research, and the
combination of application research and technology transformation, and develops into a
comprehensive research institute with the main characteristics of "task with
discipline". With the approval of relevant national departments, it has now become a
third-party analysis and test technical service unit and obtained CMA qualification
certification. Services such as R & D design, analysis and detection, test and
verification, common processing, information and intellectual property rights were
carried out to provide public services for innovation of science and technology-based
enterprises. With the support of the government innovation fund, the exchange was rated
as a national high-tech enterprise.
Sinochem has established chemical laboratory, Microbial Laboratory, mechanical
laboratory, material laboratory, medical laboratory, polymer laboratory, acoustic
laboratory, etc. It provides personalized customized solutions and services for China's
aerospace, military scientific research, judicial units, high-end manufacturing and
other departments.