平面度检测

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综合性检验测试研究所

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检测信息(部分)

什么是平面度检测?

平面度检测是测量物体表面与理想平面之间偏差的精密测量技术,用于评估表面的平整程度。

哪些产品需要平面度检测?

精密机械零件、光学元件、半导体晶圆、模具基座等对表面平整度有严格要求的产品均需进行此项检测。

检测的主要依据是什么?

依据ISO 12780、ASME B89.3等国际标准及行业规范,通过测量表面最高点与最低点的差值进行评定。

常规检测周期需要多久?

标准检测周期为3-5个工作日,复杂件或大批量检测可提供加急服务。

检测项目(部分)

  • 平面度误差:表面相对于理想平面的最大偏离量
  • 局部平面度:限定区域内表面平整度
  • 波度:周期性表面起伏的波长特征
  • 轮廓峰高:表面最高点至参考平面距离
  • 轮廓谷深:表面最低点至参考平面距离
  • 平面扭曲度:表面发生的扭转变形量
  • 对角线平面度:沿对角线方向的平整度变化
  • 单位面积平面偏差:每平方厘米的平面度误差
  • 表面倾斜度:整体表面与基准面的夹角
  • 平面平行度:两相对表面间的平行程度
  • 微米级平面波动:微观尺度上的表面起伏
  • 热变形平面度:温度变化导致的平面变形
  • 装配平面度:部件组装后的配合平面精度
  • 平面共振频率:表面振动模态特性
  • 材料应力分布:残余应力导致的平面变形
  • 平面粗糙度:微观表面纹理对平面的影响
  • 边缘塌陷量:工件边缘区域的沉降值
  • 平面稳定性:随时间变化的平面度保持能力
  • 接触平面度:密封接触面的有效贴合区域
  • 平面透光均匀性:光学元件的平面光学特性

检测范围(部分)

  • 机械密封环
  • 光学平板
  • 半导体晶圆
  • 模具模板
  • 机床导轨
  • 液压阀板
  • 轴承座圈
  • 真空吸盘
  • 激光反射镜
  • PCB印刷电路板
  • 精密量块
  • 涡轮叶片
  • 光伏硅片
  • 液晶基板
  • 航空结构件
  • 汽车缸体
  • 卫星反射面
  • 医疗影像平板
  • 数控工作台
  • 精密夹具基座

检测仪器(部分)

  • 激光平面干涉仪
  • 三坐标测量机
  • 电子水平仪
  • 光学平晶
  • 数字式平面度仪
  • 激光跟踪仪
  • 白光干涉仪
  • 精密大理石平台
  • 自动影像测量仪
  • 激光共聚焦显微镜

检测方法(部分)

  • 三点法测量:通过三个支撑点建立基准平面
  • 对角线法:沿对角线方向测量平面偏差
  • 激光干涉法:利用激光波长测量微观起伏
  • 平晶干涉法:通过光学干涉条纹判断平面度
  • 坐标测量法:使用三坐标机进行三维点云扫描
  • 水平仪扫描:电子水平仪连续测量表面倾角
  • 光切法:利用光带变形分析表面轮廓
  • 气动测量法:通过气流变化检测表面间隙
  • 电容传感法:电容值变化反映探头距离
  • 白光扫描:白光干涉获取纳米级表面形貌
  • 数字全息法:激光全息记录表面相位信息
  • 莫尔条纹法:利用光栅干涉测量平面变形
  • 超声波测厚法:通过声波传播时间反推平面度
  • 摄影测量法:多角度图像重建表面模型
  • 应变片检测:表面应力分布与变形关系分析
  • 接触式探针扫描:机械探针连续描迹表面
  • 激光三角测量:激光位移传感器非接触扫描
  • 热成像分析法:温度场与平面变形的关联研究
  • 频闪观测法:动态平面振动的可视化检测
  • 原子力显微镜:原子尺度平面形貌测量

结语

以上是关于平面度检测的介绍,如有其它问题请 联系在线工程师

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