电子工业用气体三氟甲烷的检测与应用
2025-04-08
三氟甲烷(CHF₃)作为一种常见的电子工业用气体,广泛应用于半导体制造、光刻工艺以及冷却系统中。其独特的化学性质使其成为许多高科技设备和过程中的关键材料。然而,随着其使用的增加,如何确保三氟甲烷的纯度和浓度,确保生产过程的稳定性与安全性,成为了一个亟待解决的问题。因此,三氟甲烷的准确检测显得尤为重要。
了解详情>>